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萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導體工業(yè),渦輪分子泵用于以下應用場合:- 蝕刻;- 濺射;- 離子注入;- CVD;- 光刻。這些應用中,經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵,以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻,渦輪分子泵的泵內可能發(fā)生沉積現(xiàn)象, 選用帶溫度控制的擴展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比,磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時可以防止軸承過熱,能夠有效地防止腐蝕性介質對磁懸浮軸承的損壞。
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德國萊寶 leybold tw701 分子泵維修 Leybold Tw701
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維修/銷售-德國萊寶 Oerlikon Leybold TURBO Pump Controllers 分子泵驅動器、分子泵電源、分子泵驅動器:
NT10 、NT12 、NT13、 NT20 、NT50 、NT151、 NT360、 NT220、 NT340、
NT450 、NT1500 、NT1000 、TDS、 TD300 、TD400 、TD20 、NT220、
NT340等
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萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空,具有操作簡單,可靠性高等特點。
萊寶TURBOVAC 250i半磁浮渦輪分子泵維修, 萊寶TURBOVAC 250i半磁浮渦輪分子泵維修,Leybold德國萊寶TV250iX分子泵輸送介質:清水泵,極限壓力1X10-10pa
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