廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵真空機(jī)組維修
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多級(jí)羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種,在美日等國家較多的應(yīng)用與半導(dǎo)體及化工行業(yè)。它的“多級(jí)”是相對(duì)于傳統(tǒng)的一個(gè)轉(zhuǎn)子的“單級(jí)”羅茨真空泵而言,形式上多個(gè)轉(zhuǎn)子串聯(lián),中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的泵腔,各級(jí)泵腔通過各級(jí)的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級(jí)轉(zhuǎn)子的直徑和形狀是相同的,但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話高壓側(cè)方會(huì)變窄。真空機(jī)組維修
是真空機(jī)組的抽氣能力不夠還是漏率高;或者兩者兼而有之,需要耐心觀察和記錄,從中找出故障原因,比如,抽空時(shí)間相同,而真空度偏低,這時(shí)候,關(guān)閉高壓閥,如真空計(jì)指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏了,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問題上,看是哪里出現(xiàn)了泄漏,或是擴(kuò)散泵油被污染了,氧化了等;或是前級(jí)管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,軸封漏油,閥片損壞等故障。真空機(jī)組維修
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真空泵維修,問題2、抽不到真空泵的極限真空度:首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性,看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開氣鎮(zhèn),讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽,排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。varian TV 902分子泵維修
在排除以上兩個(gè)因素后,其他原因主要有:泵油污染,需要換油;泵內(nèi)油過濾器堵塞,引起壓縮注油系統(tǒng)油路不暢,供油不足,導(dǎo)致泵體密封不嚴(yán),這時(shí)需要清洗內(nèi)部油過濾器;配油器閥門變形、磨損或損壞也可導(dǎo)致供油不足,這時(shí)應(yīng)檢查更換配油器閥門;varian TV 902分子泵維修
因此旋片泵機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆*性的、對(duì)金屬無腐蝕性的、與泵油不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)的也不會(huì)含有顆粒塵埃的氣體。
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真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?,真空泵須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。進(jìn)口真空泵維修
進(jìn)口真空泵維修的方法如下:
1、操作員需要了解設(shè)備、泵和各種部件的外觀。
2、如果打開電源后出現(xiàn)異常情況,請(qǐng)立即清潔或關(guān)閉電源以查找原因。
3、冷卻液壓力應(yīng)在0.1至0.2Mpa之間,水溫應(yīng)為≤45℃.
4、在啟動(dòng)每臺(tái)爐之前,請(qǐng)檢查維護(hù)氣缸的氣缸容量,并更換氣缸以避免填充。
5、始終檢查每個(gè)部件的回流量,并確保在操作過程中每個(gè)部件都有足夠的冷卻液。
間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級(jí)為6.5×10-2帕,雙級(jí)為1×10-3帕。進(jìn)口真空泵維修
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