廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護(hù)
羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵,分子增壓泵有極高的壓縮比,這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能,同時在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機(jī)組的高真空機(jī)組。阿爾卡特真空泵維護(hù)
分子增壓泵可以在100-50Pa工作,前級泵從大氣到這一壓力,基本遵從每經(jīng)過時間壓力降低一個數(shù)量級的規(guī)律,因此機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機(jī)組,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。阿爾卡特真空泵維護(hù)
對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,也可適當(dāng)加強(qiáng)前級泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時間,由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短,所以前級泵的使用時間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?;瘧?yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡化。阿爾卡特真空泵維護(hù)
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 真空泵維修維護(hù)
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。
當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,*后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負(fù)擔(dān),因而提高了極限真空度。真空泵維修維護(hù)
真空機(jī)組工作原理:
真空機(jī)組是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點,而且同時保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點。真空泵維修維護(hù)
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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 adixen ATP150分子泵維修
空氣冷卻:羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產(chǎn)生熱量,這些熱量必須從轉(zhuǎn)子傳至殼體而散發(fā)。但在低壓下,氣體對熱的傳導(dǎo)和對流性能極差,致使轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散出,造成轉(zhuǎn)子溫度永遠(yuǎn)高于殼體的溫度。adixen ATP150分子泵維修,由于轉(zhuǎn)子的熱膨脹,使轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間的間隙減少,特別在壓差也高的情況下,尤為嚴(yán)重,甚至造成轉(zhuǎn)子卡死,使泵損壞。為了使羅茨泵在較高的壓差下工作,以擴(kuò)大使用范圍,增加泵的可靠性,就必須設(shè)法散出轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量,也就是說要對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。adixen ATP150分子泵維修
一般真空泵設(shè)備的操作都比較簡單,大多正常生產(chǎn)過程中都不需要過多的人為操作,操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況,為防止發(fā)生事故,應(yīng)立即切斷電源,及時報修。使用過程中,應(yīng)避免日光直射,遠(yuǎn)離熱源體。日常工作中應(yīng)做到每日點檢保養(yǎng)設(shè)備,保持無灰塵、無雜物,防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。adixen ATP150分子泵維修
復(fù)合分子泵牽引級的參數(shù)直接影響著分子泵的抽氣性能,進(jìn)而影響著氦質(zhì)譜檢漏儀的檢測性能。adixen ATP150分子泵維修,以氦質(zhì)譜檢漏儀用復(fù)合分子泵牽引級為研究對象,建立適用于檢漏技術(shù)的牽引級計算模型,改變螺旋升角、牽引槽深度和轉(zhuǎn)子與定子間隙等參數(shù),分別計算牽引級的抽氣性能,結(jié)合氦質(zhì)譜檢漏儀的實際使用情況對由牽引級參數(shù)變化引起的檢漏性能的改變進(jìn)行研究。通過對分子泵的抽氣性能和氦質(zhì)譜儀的檢測靈敏度的優(yōu)化,使復(fù)合分子泵能夠更好地應(yīng)用于檢漏技術(shù)。adixen ATP150分子泵維修
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