廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 Alcatel ATH1600M分子泵維修
Alcatel ATH1600M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修,Alcatel ATH1600MT阿爾卡特分子泵進氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1400 L/s，極限壓力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁懸
真空泵維修中，一般會接到以下幾個故障案例：①會出現(xiàn)真空泵無法啟動；②真空泵達不到極限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的溫度過高；⑤真空泵的噪音過大；⑥真空泵漏油。本文主要來詳細分析下真空泵無法啟動這一個問題，用過真空泵的用戶應該都會知道，使用真空泵的過程中，如果長期未使用或者出現(xiàn)故障時都會導致真空泵無法正常啟動，例如，啟動一下就會突然停下了，甚至都啟動不了。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵機械選擇：
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵維修
真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修
渦輪分子泵可短時承受大氣的沖擊，并有啟動快、制動快、比較潔凈的優(yōu)點。這種泵特別適用于在大排氣量下工作,壓力為 10-Pa 以上時泵的排氣量幾乎是定的，這時只與前級泵的大小有關;在這個范圍內(nèi)可忽略抽速的不穩(wěn)定性和潤滑油的返流影響。這些特性恰好是油擴散泵所不具備的。這一特點，對于要求先抽到高真空，然后再在以壓力為 0.1~1Pa的真空系統(tǒng)內(nèi)以連續(xù)氣流工作的濺射薄膜沉積來說是十分重要的。阿爾卡特渦輪分子泵維修
在這個特殊管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴壓器入口之間的這個區(qū)域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個負壓區(qū)。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和泵出口處所能承受的大壓強(反壓強)低很多。阿爾卡特渦輪分子泵維修
此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進行能量交換，把工作蒸汽靜壓能轉(zhuǎn)變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張某而產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴流動時是降速增壓的?；旌蠚饬髟跀U壓器出口處，壓力增加，速度下降，而后從壓出口排出。故噴射泵也是一臺氣體壓縮機。阿爾卡特渦輪分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 真空泵維修價格
分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。臥式渦輪分子泵，這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。立式渦輪分子泵，泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動機等組成?，F(xiàn)代渦輪分子泵轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙較大，通常在lmm左右，因此泵工作時很安全。真空泵維修價格
薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導體或?qū)w。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長或沉積的。通用的沉積技術有化學氣相淀積（CVD）、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來說，其中還要夾雜低溫（≤500℃）退火工藝等熱處理工藝，用以增進金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內(nèi)應力等。設備運行過程中需要高潔凈的真空環(huán)境，一般采用以磁懸浮分子泵為主的無油真空系統(tǒng)。真空泵維修價格
IC制造行業(yè)屬于典型的技術密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術含量非常高，同時對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設備，廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過程。真空泵維修價格
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