廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
4、雜音振動(dòng)----管路支撐不穩(wěn)，潤(rùn)滑油混有氣體，產(chǎn)生汽蝕，軸承損壞，電動(dòng)機(jī)超載發(fā)熱運(yùn)行穩(wěn)固管路，提高吸入壓力排氣，降低真空度，更換軸承，調(diào)整按電動(dòng)機(jī)發(fā)熱方法排除5、電動(dòng)機(jī)發(fā)熱----流量多大，超載運(yùn)行，碰擦，電動(dòng)機(jī)軸承損壞，電壓不足，關(guān)小出口閥，檢查排除，更換軸承，穩(wěn)壓6、泵浦漏油----機(jī)械密封磨損，泵體有砂孔或po裂，密封面不平整，安裝螺栓松動(dòng)更換密封套件，修補(bǔ)泵浦，修正密封面端面，緊固螺栓。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
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磁懸浮分子泵是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中使轉(zhuǎn)子和定子無(wú)接觸運(yùn)轉(zhuǎn)。
其特點(diǎn)如下：
（1）不用任何潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)完全無(wú)油化。
（2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸，軸承的壽命非常長(zhǎng)。
（3）與傳統(tǒng)軸承相比，轉(zhuǎn)子可運(yùn)行到很高的轉(zhuǎn)速。
（4） 振動(dòng)與噪聲很低?；け镁S修
（5） 泵的安裝姿態(tài)不受限制，可任意角度安裝。
（6）轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形
（7）自平衡技術(shù)振動(dòng)ji小
相比普通分子泵，它的軸承不需要潤(rùn)滑，所以可以排除油污染。
脂潤(rùn)滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油脂潤(rùn)滑。
通常情況下有效粘度低，蒸汽壓極低的軸承用油脂，使渦輪分子泵避免了在抽氣時(shí)或放大氣時(shí)都要小心，尤其當(dāng)轉(zhuǎn)子在高速工作時(shí)以免高速流動(dòng)的油進(jìn)到入口處。
蒸汽的影響：咱們所用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵，是以過(guò)飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的，蒸汽的狀況對(duì)泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能，還會(huì)腐蝕蒸汽噴唬，添加泵的蒸汽用量，使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定；
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分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。臥式渦輪分子泵，這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。立式渦輪分子泵，泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機(jī)等組成。現(xiàn)代渦輪分子泵轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙較大，通常在lmm左右，因此泵工作時(shí)很安全。真空泵維修價(jià)格
薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導(dǎo)體或?qū)w。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長(zhǎng)或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積（CVD）、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來(lái)說(shuō)，其中還要夾雜低溫（≤500℃）退火工藝等熱處理工藝，用以增進(jìn)金屬層和半導(dǎo)體之間的低電阻接觸、消除內(nèi)應(yīng)力等。設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中需要高潔凈的真空環(huán)境，一般采用以磁懸浮分子泵為主的無(wú)油真空系統(tǒng)。真空泵維修價(jià)格
IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時(shí)對(duì)配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設(shè)備配套產(chǎn)業(yè)。真空設(shè)備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。真空泵維修價(jià)格
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