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廣州潽拓光電科技有限公司——varian

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廣州潽拓光電科技有限公司——varian Varian SQ266分子泵維修廠家在線咨詢

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 壓縮比   渦輪分子泵的壓縮比是指前級(jí)管道（排氣口處）的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同，泵對(duì)各種氣體的壓縮比也不同。氣體分子量M 的平方根與壓縮比K 的關(guān)系如圖6所示，泵對(duì)氫的壓縮比很小，一般為1000 左右，這樣一來如果前級(jí)管道中氫的壓力為1 10- 7 Torr（13.33 Pa），那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍，即為1 10- 10 Torr（13.33 nPa）。