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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 高真空分子泵維修廠家

不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然*簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。高真空分子泵維修廠家

真空是指氣體壓力小于大氣壓力的狀態(tài)。真空度用帕斯卡（Pa）或托（Torr）來表示。在某些應用中，需要制造非常低的真空。例如，在電子學中，需要多個級別的真空來生產(chǎn)半導體器件。真空主要通過真空泵來制造和維持。高真空分子泵維修廠家

一般真空泵設備的操作都比較簡單，大多正常生產(chǎn)過程中都不需要過多的人為操作，操作人員如果發(fā)現(xiàn)真空泵有異常狀況，為防止發(fā)生事故，應立即切斷電源，及時報修。使用過程中，應避免日光直射，遠離熱源體。日常工作中應做到每日點檢保養(yǎng)設備，保持無灰塵、無雜物，防止雜物進入泵內。高真空分子泵維修廠家

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一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組，這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ，而當前級泵達到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修

轉子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。油經(jīng)過濾器器、冷卻器，通過密封良好的油泵，再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉子上之后，隨著轉子的旋轉而均面在轉了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修

這不僅將轉子的熱量帶走，同時在兩個轉子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉子表面上依附的微細塵埃帶走。在泵的出口處設有油槽，收集廢油，經(jīng)過過濾，冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ，但由于泵內有油，失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。再則油具有一定的粘度，對高速旋轉的羅茨泵轉子增加了不少的摩擦力，當然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修

所使用的油，要求飽和蒸汽壓應盡量代。

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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 分子泵養(yǎng)護

半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行，而且對真空系統(tǒng)和真空設備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護 

羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護

轉子的內部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運轉時轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時，羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度，同時還發(fā)現(xiàn)泵負荷越重時，則間隙越大，這是因為轉子用油冷卻，溫度比殼體低，負荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會增大。

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