廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 真空泵維修維護
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強,因此將氣體吸入。
當空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,*后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn),達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔,因而提高了極限真空度。真空泵維修維護
真空機組工作原理:
真空機組是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時在一定壓力下抽氣速率低的缺點,而且同時保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點。真空泵維修維護
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 分子泵養(yǎng)護
半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進行,而且對真空系統(tǒng)和真空設備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,所以應該在國內(nèi)大力推廣和應用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器,用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護
轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作,可采取更有效的冷卻方法,即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻,在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外,還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運轉(zhuǎn)時轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度,大泵常采用這種方式。 分子泵維修,例如在80Torr壓差下工作時,羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度,同時還發(fā)現(xiàn)泵負荷越重時,則間隙越大,這是因為轉(zhuǎn)子用油冷卻,溫度比殼體低,負荷越大,殼體膨脹越厲害,軸間距加大,所以間隙會增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進口分子泵 進口泵維修
真空泵是執(zhí)行器的主要類型,采用壓縮空氣為動力源,對于各種腐蝕性液體,帶顆粒的液體,高粘度、易揮發(fā)、易*、劇*的液體,均能予以抽光吸盡。通過接受調(diào)制單元輸出的控制信號,借助動力操作去改變流體流量。
真空泵是一種用于抽取低壓或高真空中氣體的機械設備,是廣泛應用于工業(yè)、nong業(yè)、yi療、環(huán)保和科研等領域的重要設備。隨著各種工業(yè)企業(yè)對真空技術的日益依賴和追求,真空泵市場的需求量也在不斷擴大。 進口泵維修
真空泵的整個工作過程是指一個吸入和排出過程。在動力驅(qū)動下經(jīng)傳動機構推動活塞往復運動,經(jīng)液壓油推動膜片來回鼓動作功。當活塞向后移動時,膜片逐漸凹進,泵腔內(nèi)體積逐漸增大,壓力逐漸降低,低于入口管壓力時入口閥打開,介質(zhì)流入泵腔,活塞達到內(nèi)止點時,介質(zhì)充滿泵腔,入口閥關閉。吸入過程完成,開始壓出過程。進口泵維修
極限相對壓強 相對壓強即所測內(nèi)部壓強比大氣壓低多少壓強。表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽,因此內(nèi)部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強表示的時候,數(shù)值前面必須帶負號,表示容器內(nèi)部壓強比外部壓強低。進口泵維修
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