廣州潽拓光電科技有限公司——Edwards分子泵機組,分子泵
愛德華Edwards SCU-800分子泵控制器維修價格
廣州潽拓維修Edwards SCU-800英國愛德華分子泵控制器,二手分子泵驅(qū)動器
Edwards SCU-800英國愛德華分子泵控制器輸入電壓100~240VAC,功率 850VA,頻率50-60hz,Edwards SCU-800輸出電壓80VAC,頻率800HZ。
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STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵是為半導體應用而設計的渦輪分子泵STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵它使用的轉(zhuǎn)子,可實現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。全新的半機架控制器能夠節(jié)省更多空間,且采用直流驅(qū)動,無需電池即可運行。STPA2203C 已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型刻蝕、離子注入和沉積設備制造商投入使用,并得到了。
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nEXT 平臺實現(xiàn)高度的模塊化,為滿足客戶應用和需求提供了*大的靈活性。 每臺泵都提供兩種不同的內(nèi)部配置,以實現(xiàn)不同的性能。
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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。
該分子泵有80W和160W兩種zui大預設功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽ya氣,但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。