廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華渦輪泵
Edwards真空泵是上銷售好的真空泵之一， 用于半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池制造， 及工業(yè)、制藥、化工、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。
Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵系列因其質(zhì)量和可靠性在市場上享有很高的聲譽(yù)，并且是許多具有挑戰(zhàn)性的半導(dǎo)體應(yīng)用的優(yōu)選分子泵。對于實(shí)驗室應(yīng)用，STP 磁懸浮渦輪分子泵極為可靠，并且超長時間運(yùn)行而無需維護(hù)。
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STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵是為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計的渦輪分子泵STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵它使用的轉(zhuǎn)子,可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。全新的半機(jī)架控制器能夠節(jié)省更多空間,且采用直流驅(qū)動,無需電池即可運(yùn)行。STPA2203C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型刻蝕、離子注入和沉積設(shè)備制造商投入使用,并得到了。
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Edwards STPA1603C英國愛德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強(qiáng)大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，滿足zui新一代半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計可節(jié)省可觀的空間，而其先進(jìn)的沉積減少系統(tǒng)提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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