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渦輪分子泵也是一種機(jī)械式真空泵，通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴(kuò)散泵高，可達(dá)10-8 pa。英?？嫡婵毡镁S修

正常工作時需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級泵，由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速高，通常用中頻電機(jī)帶動，中頻電源的頻率在300-400HZ之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。英?？嫡婵毡镁S修

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。英福康真空泵維修

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氦質(zhì)譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體，對真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器。

為了正確使用氦氣檢漏設(shè)備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空。如果在填充前沒有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設(shè)備中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設(shè)備不能檢測到這些檢漏孔。

氦氣檢漏設(shè)備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細(xì)管會被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結(jié)果

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在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實驗中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通?？梢酝ㄟ^手動調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調(diào)節(jié)，就要借助于壓力控制儀來完成。英?？嫡婵沼嫳ｐB(yǎng)

如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度，則這種規(guī)頭稱為熱偶規(guī)；如利用熱絲本身的電阻值來反映溫度，則稱電阻規(guī)或皮喇尼規(guī)。氣體熱傳導(dǎo)只在低壓強(qiáng) (P<100帕)下隨壓強(qiáng)變化，而低至10-1帕?xí)r氣體熱傳導(dǎo)又不是主要的散熱方式，因此熱傳導(dǎo)真空計主要用于100～10-1帕范圍，采取特殊措施可擴(kuò)大測量范圍。熱傳導(dǎo)真空計的指示不但和氣體種類有關(guān)，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準(zhǔn)確度不高，只作粗略的真空指示用。英?？嫡婵沼嫳ｐB(yǎng)

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域不可或缺的技術(shù)，利用該技術(shù)檢漏*率高，操作方便，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體干擾，上述方法在檢漏技術(shù)領(lǐng)域中經(jīng)常使用，包括從小泄漏檢測到大泄漏檢測，從確定泄漏檢測到確定泄漏率泄漏檢測，更quan面地列出各種泄漏檢測方法，相信在工程實際應(yīng)用中具有良好的參考價值。

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