廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
滑閥式真空泵市場(chǎng)
國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國(guó)外各真空廠(chǎng)都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,噴油和漏油,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。
廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵維修問(wèn)題
分子泵噪音大如何界定?是否有合格標(biāo)準(zhǔn),是多少?
答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要儀器和特定的測(cè)試環(huán)境
分子泵是否對(duì)冷卻有明確要求?如風(fēng)冷需要外界溫度是多少?如水冷則對(duì)水有何具體要求?如未達(dá)到要求會(huì)出現(xiàn)何后果?
答:注意水溫和水流量,冷卻不良會(huì)導(dǎo)致無(wú)故停機(jī)、碎泵、油變黑等。
分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題,應(yīng)如何做才是佳方式?
答:電源本身有接地線(xiàn),只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對(duì)強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)輻射的屏蔽。
頻器電源,轉(zhuǎn)速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機(jī),即顯示“Poff”?
答:原因:電壓低
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分子泵市場(chǎng)
分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。
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油池安裝注意事項(xiàng) ①、拆油
②、油量控制
③、油池衛(wèi)生,防顆粒
?、堋?duì)好、對(duì)稱(chēng)上緊螺釘,防止有漏
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安捷倫科技的真空產(chǎn)品涉及從科研到工業(yè)的眾多應(yīng)用領(lǐng)域,包括高能物理,半導(dǎo)體工藝,化學(xué),物理分析,以及真空鍍膜,熱處理等眾多的工業(yè)應(yīng)用。產(chǎn)品主要包括:機(jī)械泵、渦旋式干泵、分子泵、離子泵、擴(kuò)散泵、氦質(zhì)譜檢漏儀、閥門(mén)、真空測(cè)量及配件等。無(wú)論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統(tǒng),還是用于常規(guī)工業(yè)真空加工的熱處理系統(tǒng),或適合在車(chē)間中實(shí)時(shí)檢測(cè)泄露的快速耐用的便攜解決方案,安捷倫都可提供相應(yīng)的解決方案。
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安捷倫 HLD 氦質(zhì)譜檢漏儀專(zhuān)為簡(jiǎn)便易用和優(yōu)化性能而設(shè)計(jì),其預(yù)置了 6 個(gè)應(yīng)用設(shè)置,每個(gè)應(yīng)用可設(shè)置 3 組報(bào)警值,通過(guò)簡(jiǎn)擇,即可完成應(yīng)用設(shè)置或者在不同應(yīng)用間切換。對(duì)于大多數(shù)常見(jiàn)應(yīng)用(吸、氦氣噴、高靈敏度和自動(dòng)排序器等),用戶(hù)可以訪(fǎng)問(wèn)合適的應(yīng)用界面并按照向?qū)д_設(shè)置參數(shù),如此便避免了時(shí)間的浪費(fèi)或造成嚴(yán)重錯(cuò)誤的可能。