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廣州潽拓光電科技有限公司

廣州市ULVAC分子泵維修升級(jí)在線咨詢 潽拓光電

2023-10-12







廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC分子泵維修升級(jí)維修;

分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵,這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。由于國(guó)內(nèi)磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚,將磁軸承技術(shù)應(yīng)用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識(shí)到這一問題后,公司以此為科技攻關(guān)點(diǎn),經(jīng)過多年的不懈努力,磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對(duì)復(fù)合分子泵的工作原理,研發(fā)出了適合復(fù)合分子泵用的磁懸浮高速電機(jī),很后將兩者結(jié)合起來,成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的磁懸浮復(fù)合分子泵,并探索實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。



9、對(duì)顆粒物或沉積物敏感; 10、噪音與振動(dòng); 11、破碎問題; 12、暴露大氣易引起事故; 綜上所述,渦輪分子泵的特點(diǎn)很多,但是隨著我國(guó)機(jī)械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展,渦輪分子泵想要擴(kuò)大它的市場(chǎng)占有率,其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專研,同時(shí)也需要各界的共同努力,對(duì)渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究,相信在未來是個(gè)值得突破的課題。



愛發(fā)科分子泵, 磁懸浮分子泵應(yīng)用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹,在半導(dǎo)體生產(chǎn)線、真空鍍膜生產(chǎn)線、汽車后視鏡鍍膜生產(chǎn)線等領(lǐng)域都有著廣闊的市場(chǎng)前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無摩擦、、高精度、長(zhǎng)壽命、低噪音、無油污等突出優(yōu)點(diǎn),一旦實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,將成為能源、節(jié)能減排、真空機(jī)械等重大戰(zhàn)略領(lǐng)域的技術(shù)。


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分子泵使用中有哪些注意事項(xiàng)?2.一文了解分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用3.如何科學(xué)地獲得超高真空?4.國(guó)際熱核聚變?cè)囼?yàn)堆(ITER)的真空結(jié)構(gòu)5.一千多臺(tái)樣泵用于各項(xiàng)測(cè)試,僅選很優(yōu)方案,揭秘新型分子泵測(cè)試方法;真空聚焦真空行業(yè)新媒體平臺(tái):渦輪分子泵應(yīng)用于質(zhì)譜系統(tǒng)分子泵應(yīng)用于緊湊型質(zhì)譜系統(tǒng)。



質(zhì)譜分析是指與質(zhì)譜分析相結(jié)合的一種核分析技術(shù),用于實(shí)現(xiàn)同位素比值的測(cè)定.需要清潔無油的高真空環(huán)境,一般采用干泵配備渦輪分子泵實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境.質(zhì)譜系統(tǒng)需要分子泵抽真空原因:1.電子加速運(yùn)動(dòng)的需要;2.電子正常工作的需要;3.加速管微波電場(chǎng)的需要(避免加速管中出現(xiàn)微波打火,必須抽到高真空). 中科院某大型科技工程項(xiàng)目,工程的主體建筑是三大:一臺(tái)150MeV(1.5億電子伏特)的電子直線、一臺(tái)能在0.5秒內(nèi)把電子束能量從150MeV提升到3.5GeV(35億電子伏特)的量增強(qiáng)器,以及一臺(tái)周長(zhǎng)432米的3.5GeV電子儲(chǔ)存環(huán),



經(jīng)過技術(shù)推薦,成功采購(gòu)愛發(fā)科渦輪分子泵和干泵,渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉(zhuǎn)速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到100,000小時(shí)!分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.



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脈沖激光沉積系統(tǒng)PLD客戶案例:某大學(xué)電信系脈沖激光沉積系統(tǒng)

1.系統(tǒng)功能:主要用于Mn氧化物等復(fù)雜材料膜。

2.渦輪分子泵真空度要求:真空度

3.樣品尺寸:6英寸

4.基片旋轉(zhuǎn),加熱溫度:750℃

5.膜生長(zhǎng)控制模式:鍍率/厚度/時(shí)間控制模式



真空系統(tǒng)配置:超高真空系統(tǒng)配置:渦輪分子泵400

接口:DN100CF-F

極限真空:

氮?dú)鈮嚎s比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

氮?dú)鈮嚎s比:>1X1011隔膜泵MVP040

口徑:G1/4”

極限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h



渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉(zhuǎn)速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到100,000小時(shí)!分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應(yīng)用>>