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渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著我國(guó)機(jī)械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴(kuò)大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對(duì)渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。
典型的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng) ，抽氣系統(tǒng)設(shè)置分開(kāi)的粗抽管道和前級(jí)管道，這種系統(tǒng)和常用的擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)類(lèi)似，其粗抽管道和前級(jí)管道的基本配置與擴(kuò)散泵不同。擴(kuò)散泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要求前級(jí)泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級(jí)壓力能低于臨界前級(jí)壓力，在渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)中，要選擇具有足夠容量的前級(jí)泵，使很靠近前級(jí)管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。
大多數(shù)渦輪分子泵的很大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級(jí)壓力P2約為30Pa。因?yàn)榕艢饬繛橐怀?shù)，即P1S1=P2S2， （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級(jí)泵抽速之S1/S2比應(yīng)該在30到60的范圍內(nèi)，對(duì)于很大的對(duì)氫壓縮比小于500的泵來(lái)說(shuō)，其級(jí)配比應(yīng)該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-粗抽閥；7-機(jī)械泵；8-前級(jí)管路閥；9-高真空閥。
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市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機(jī)器制造所、和等，按收入計(jì)，2021年大廠商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入計(jì)，2021年市場(chǎng)份額為%，預(yù)計(jì)2028年份額將達(dá)到%。同時(shí)就應(yīng)用來(lái)看，半導(dǎo)體行業(yè)在2028年份額大約是%，未來(lái)幾年CAGR大約為%。
根據(jù)不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細(xì)分為:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根據(jù)不同應(yīng)用，本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域：
半導(dǎo)體行業(yè)
光伏行業(yè)
鍍膜行業(yè)
其他
渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
（1）抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系抽速與轉(zhuǎn)速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數(shù)；u是活動(dòng)刀片的轉(zhuǎn)速。隨著速度的增加，泵送速度比直線略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對(duì)進(jìn)氣管電導(dǎo)率的限制來(lái)解釋。根據(jù)（4-66），隨著S1的增加，S將偏離直線。
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分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。抽氣系統(tǒng)裝有單獨(dú)粗抽管路的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的操作方法與擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)相似。在開(kāi)始粗抽以前，高真空閥和粗抽閥是關(guān)著的，而前級(jí)管道閥是打開(kāi)的。首先關(guān)閉前級(jí)閥，啟動(dòng)粗抽泵（兼前級(jí)泵），打開(kāi)粗抽閥開(kāi)始對(duì)真空室進(jìn)行抽氣。在真空室內(nèi)的壓力降到150~100Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，打開(kāi)前級(jí)管道閥，再啟動(dòng)渦輪分子泵（需先接通冷卻系統(tǒng)）。
如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應(yīng)在泵加速到額定轉(zhuǎn)速后（一般需5~10min）加注液氮。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規(guī)；5-熱傳導(dǎo)規(guī)；6-粗抽閥；7-機(jī)械泵；8-前級(jí)管路閥；9-高真空閥。圖1 典型渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)粗抽系統(tǒng)的配置隨真空室的容積大小而有所不同。對(duì)500L/s或更小的渦輪分子泵來(lái)說(shuō)，可采用一臺(tái)雙級(jí)旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機(jī)械泵為前級(jí)泵的羅茨泵機(jī)組。
在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對(duì)某些泵，這樣做會(huì)引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對(duì)抽氣并無(wú)影響。正如擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)那樣，渦輪分子泵系統(tǒng)中的很主要的物質(zhì)是水蒸氣，其臭氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱，那么這個(gè)系統(tǒng)抽除水蒸氣的速度就會(huì)比同樣抽速的無(wú)冷阱擴(kuò)散泵略慢一些。
傳統(tǒng)的產(chǎn)品設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)過(guò)程，常被當(dāng)作是研制產(chǎn)品的一個(gè)步驟，因?yàn)楫a(chǎn)品的設(shè)計(jì)者不可能對(duì)上市時(shí)間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護(hù)性等全盤(pán)掌握，使用傳統(tǒng)過(guò)程設(shè)計(jì)的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時(shí)不可避免地需要進(jìn)行反復(fù)修改。產(chǎn)品生命周期設(shè)計(jì)方法通過(guò)提議、調(diào)查、實(shí)驗(yàn)室原型、生產(chǎn)原型、試運(yùn)行和量產(chǎn)六個(gè)步驟來(lái)推動(dòng)和設(shè)計(jì)過(guò)程，
在這些設(shè)計(jì)過(guò)程推進(jìn)時(shí)，采用各種各樣的測(cè)試和多個(gè)部門(mén)參與的交互式討論和分析來(lái)決定產(chǎn)品設(shè)計(jì)方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測(cè)試。為了驗(yàn)證各種不同的設(shè)計(jì)，執(zhí)行了遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的大量測(cè)試，在量產(chǎn)之前陸續(xù)生產(chǎn)了多達(dá)1000余臺(tái)樣泵，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行測(cè)試和分析，很終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結(jié)果很佳的結(jié)構(gòu)和方案。
擴(kuò)展測(cè)試
壽命測(cè)試在通過(guò)對(duì)有統(tǒng)計(jì)學(xué)意義數(shù)量的泵進(jìn)行加速壽命測(cè)試（長(zhǎng)時(shí)間暴露于加速損壞的條件下），對(duì)泵的可靠性進(jìn)行驗(yàn)證。該測(cè)試可確保泵無(wú)故障運(yùn)行的平均時(shí)間超過(guò)五年。
沖擊測(cè)試對(duì)一批泵在運(yùn)行和非運(yùn)行條件下進(jìn)行一系列測(cè)試，證明泵的抗沖擊性。每個(gè)泵受到30–120g的加速度，相當(dāng)于從82厘米/32英寸高跌落（處于非運(yùn)行狀態(tài)的泵）和從15厘米/6英寸高跌落（處于運(yùn)行狀態(tài)的泵）。
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