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廣州潽拓光電科技有限公司

廣州瑞士英??嫡婵沼?jì)配件來電咨詢 潽拓光電

2023-10-12







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電容-數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器原理圖電路芯片利用IBM0.13umCMOS技術(shù)制造,CMOS電路板的尺寸為1950umx1850um,有效電路尺寸為263umx354um,采用2.5V電源供電,功率消耗約為0.69mW。在-20~225℃溫度范圍內(nèi),電路精度可達(dá)到2.4%,分辨率可達(dá)到1.44fF。



電容-數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器電路布局和芯片顯微照片2.雙側(cè)電極微小電容測(cè)量敏感電容為雙側(cè)電極結(jié)構(gòu)的inficon電容薄膜真空規(guī)管結(jié)構(gòu) ,敏感薄膜上的電極與上下硅基底上的電極構(gòu)成了兩個(gè)隨真空度變化而變化的敏感電容。差動(dòng)結(jié)構(gòu)的敏感電容配合差動(dòng)電路能準(zhǔn)確感知薄膜的微小變化、減小寄生電容和耦合電容的影響、提高測(cè)量的共模抑制比,從而提高整個(gè)系統(tǒng)的分辨率,因此通常采用功耗低、易小型化集成的開關(guān)電容電路來構(gòu)成差動(dòng)測(cè)量電路。而隨著inficon傳感器的廣泛應(yīng)用,具有可調(diào)性、能滿足不同設(shè)備需求的電路也比較受關(guān)注。



圖5雙側(cè)電極inficon電容薄膜真空規(guī)管結(jié)構(gòu)圖官設(shè)計(jì)了一種具有可調(diào)靈敏度的針對(duì)差動(dòng)電容結(jié)構(gòu)的inficon電容式傳感器的信號(hào)測(cè)量電路。 電路包括傳感器電容CX1、CX2,寄生電容CP,輸入阻抗緩沖器R,前置可編程放大器,一個(gè)單位增益的反相放大器,相敏解調(diào)器,可調(diào)方波時(shí)鐘發(fā)生器,低通濾波器(LPF),可編程輸出放大器??删幊谭糯笃魈峁┝硕鄠€(gè)增益,使得電路可以根據(jù)信號(hào)的輸入強(qiáng)度及要求來選擇合適增益。


靜電力平衡式微電容測(cè)量法適用于靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計(jì),電路為閉環(huán)結(jié)構(gòu),包括微電容測(cè)量電路和靜電力控制回路,其中靜電力控制回路用來產(chǎn)生平衡感壓薄膜的靜電力,對(duì)系統(tǒng)的測(cè)量性能有著至關(guān)重要的影響,該方法在保證真空計(jì)高準(zhǔn)確度測(cè)量的同時(shí)還能拓寬其動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍。



inficon電容薄膜真空計(jì)用于真空測(cè)量,要求在較寬的壓力測(cè)量范圍內(nèi)能測(cè)得較小的壓力變化量,同時(shí)需要滿足深空探測(cè)、臨近空間探測(cè)以及空氣動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)等活動(dòng)中測(cè)量?jī)x器小型化的要求,所以測(cè)量電路應(yīng)該在滿足測(cè)量要求的前提下盡可能實(shí)現(xiàn)集成化、小型化、功耗低。因此,針對(duì)不同電極結(jié)構(gòu)的inficon電容薄膜真空計(jì)微電容測(cè)量電路應(yīng)朝著易于集成、小型化的方向發(fā)展。



由于基于開關(guān)電容法的微電容測(cè)量電路易于集成,而靜電平衡結(jié)構(gòu)的微電容測(cè)量法有拓寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍的優(yōu)勢(shì),因此基于兩者結(jié)合的微電容測(cè)量電路有望實(shí)現(xiàn)對(duì)inficon電容薄膜真空計(jì)整體測(cè)量性能的提升。另外,隨著人工智能以及物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,inficon電容薄膜真空計(jì)的應(yīng)用范圍已經(jīng)從航空航天等領(lǐng)域向大眾化領(lǐng)域拓展,這使得其需求量變大,種類更多,考慮到市場(chǎng)的研發(fā)時(shí)間成本,研發(fā)和設(shè)計(jì)能滿足不同類型的inficon電容薄膜真空計(jì)的電路是接下來inficon電容薄膜真空計(jì)微小電容測(cè)量電路的主要發(fā)展方向。